GB/T 24579-2009
酸浸取.原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物
Test methods for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-atomic absorption spectroscopy
GBT24579-2009, GB24579-2009
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- 标准号
- GB/T 24579-2009
- 别名
- GBT24579-2009
GB24579-2009 - 发布
- 2009年
- 采用标准
- SEMI MF 1724-1104 MOD
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 24579-2009
- 引用标准
- GB/T 11446.1-1997 ISO 14644-1
- 1. 1本标准规定了用酸从多晶硅块表面浸取金属杂质，并用石墨炉原子吸收定量检测多晶硅块表面上的痕量金属杂质分析方法。 1.2本标准适用于碱金属、碱土金属和第一系列过渡元素如钠、铝、铁、铬、镍、锌的检测。 1.3本标准适用于各种棒、块、粒、片形多晶或单晶硅表面金属污染物的检测。由于块、片或粒形状不规则，面积很难准确测定，根据样品重量计算结果。使用的样品重量...
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