GB/T 14603-2009
电子工业用气体.三氟化硼
Gases for electronic industry.Boron trifluoride
GBT14603-2009, GB14603-2009
GB/T 14603-2009 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 14603-2009
- 别名
- GBT14603-2009
GB14603-2009 - 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 14603-2009
- 引用标准
- GB 11640-1989 GB 14194-2006 GB 190-2009 GB 7144-1999 GB/T 3723-1999 危险货物运输规则 气瓶安全监察规程
- 被代替标准
- GB/T 14603-1993
- 本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于以氟气和硼单质 为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
GB/T 14603-2009相似标准
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