GB/T 14603-2009
电子工业用气体.三氟化硼
Gases for electronic industry.Boron trifluoride
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- 标准号
- GB/T 14603-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年05月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB 190-2009 GB/T 3723-1999 GB 7144-1999 GB 11640-1989 GB 14194-2006 气瓶安全监察规程 危险货物运输规则
- 被代替标准
- GB/T 14603-1993
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于以氟气和硼单质 为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。