GB/T 15909-2009
电子工业用气体.硅烷(SiH4)
Gas for electronic industry-Silane
GBT15909-2009, GB15909-2009
2017-12
- 标准号
- GB/T 15909-2009
- 别名
- GBT15909-2009, GB15909-2009
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 15909-2017
- 当前最新
- GB/T 15909-2017
- 引用标准
- GB 11640 GB 14193 GB 190-2009 GB 5099-1994 GB 7144-1999 GB/T 3723-1999 GB/T 5832.1-2003 GB/T 8984-2008
- 被代替标准
- GB/T 15909-1995
- 适用范围
- 本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
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