GB/T 15909-1995
电子工业用气体 硅烷(SiH4)
Gas for electronic industry--Silane
GBT15909-1995, GB15909-1995
2010-05
- 标准号
- GB/T 15909-1995
- 别名
- GBT15909-1995, GB15909-1995
- 发布
- 1995年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 15909-2009
- 当前最新
- GB/T 15909-2017
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。 本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。 分子式：SiH4 相对分子质量：32.117（按1991年国际相对原子质量）。 101.3kPa下的沸点：-112℃ 20℃和101.3kPa下气体密度：1.342kg/m3。 -185℃下液体密度：711kg/m3。
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