GB/T 26307-2010
银靶
Silver target
GBT26307-2010, GB26307-2010
- 标准号
- GB/T 26307-2010
- 别名
- GBT26307-2010, GB26307-2010
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 26307-2010
- 引用标准
- GB/T 11067.1 GB/T 11067.2 GB/T 11067.3 GB/T 11067.4 GB/T 11067.5 GB/T 11067.6 GB/T 11067.7 GB/T 15077 GB/T 4135 GB/T 6394
- 适用范围
- 本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。 本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。