YS/T 936-2013
集成电路器件用镍钒合金靶材
Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device
YST936-2013, YS936-2013
- 标准号
- YS/T 936-2013
- 别名
- YST936-2013, YS936-2013
- 发布
- 2013年
- 发布单位
- 行业标准-有色金属
- 当前最新
- YS/T 936-2013
- 引用标准
- GB/T 1031 GB/T 14265 GB/T 6394 GJB 1580A YS/T 837
- 适用范围
- 本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同或订货单内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。
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