ISO/TR 14999-3-2005
光学和光子学.光学元件和光学系统的干涉仪测量.第3部分:干涉仪试验设备和测量的校准和验证
Optics and photonics - Interferometric measurement of optical elements and optical systems - Part 3: Calibration and validation of interferometric test equipment and measurements
说明：
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- 适用范围
- This part of ISO 14999 discusses sources of error and the separation of errors into symmetric and non-symmetric parts. It also describes the reliance of measurements on the quality of a physical reference surface and the development of test procedures capable of achieving absolute calibration.