ASTM E1603/E1603M-11
用罩式质谱探漏仪或残余气体分析仪作检漏测量的标准试验方法

Standard Practice for Leakage Measurement Using the Mass Spectrometer Leak Detector or Residual Gas Analyzer in the Hood Mode

被代替

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标准号

ASTM E1603/E1603M-11

发布

2011年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E1603/E1603M-11(2017)

当前最新

ASTM E1603/E1603M-11(2022)

 

 

适用范围

测试方法 A8212；此测试方法是泄漏测试组件中最常用的方法。组件测试与标准泄漏相关，并测量实际泄漏率。验收基于系统允许的最大泄漏。对于大多数生产需求，验收是基于零件泄漏小于既定泄漏率的验收，这将确保组件在预计使用寿命内的安全性能。必须小心确保大型系统使用位于测试体积上代表性位置的标准泄漏进行校准。由于体积往往较大（>1 m3）并且通常涉及低电导路径，因此应检查响应时间以及系统灵敏度。测试方法 B8212；该测试方法用于测试真空系统，作为新系统最终测试的一个步骤，或作为用于制造、环境测试或调节零件的设备的维护实践。与测试方法 A 一样，大容量可能需要响应时间和系统灵敏度检查。测试方法C8212；仅当没有方便的方法将LD连接到高真空泵出口时才使用该测试方法。如果使用氦 LD 并且高真空泵是离子泵或低温泵，则泄漏测试最好在粗加工循环期间完成，因为这些泵会在高真空室中留下相对较高百分比的氦气。这将限制可以获得的最大灵敏度。
1.1 本实践涵盖了以 1 × 的速率测试气体泄漏源的程序。 10−8 Pa m3/s（0°C 时 1 × 10−9 标准 cm3/s）或更高。这些测试方法可以在任何可以抽空且另一侧可以施加氦气或其他示踪气体的物体上进行。该物体在结构上必须能够抽空至 0.1 Pa（大约 10−3 torr）的压力。
1.2 描述了三种测试方法； 1.2.1 测试方法A8212；对于能够被抽空但不具有固有泵送能力的被测物体。
1.2.2 测试方法B8212；对于具有整体泵送能力的测试对象。
1.2.3 试验方法C8212；对于试验方法B中的被测物，其中被测物的真空泵取代了检漏仪（LD）中通常使用的真空泵。
1.3 单位8212；以 SI 或 std-cc/sec 单位表示的值应单独视为标准。每个系统中规定的值可能并不完全相同：因此，每个系统应独立使用。组合两个系统的值可能会导致不符合标准。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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