GB/T 3163-1993
真空技术术语

Terminology for vacuum technology

GBT3163-1993, GB3163-1993

2008-06

GB/T 3163-1993封面图

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标准号
GB/T 3163-1993
别名
GBT3163-1993, GB3163-1993
发布
1993年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 3163-2007
当前最新
GB/T 3163-2007
 
 
适用范围
本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵术语、真空计术语、真空系统术语、真空检漏术语、真空镀膜技术术语、真空干燥术语、表面分析术语和真空冶金术语。 本标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。

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GB/T 3163-1993 中可能用到的仪器设备

热解吸仪，热脱附仪 离子迁移谱 二次离子质谱/离子探针 电镜制样设备 液质联用仪 过程质谱/在线质谱 场流分离仪 色谱检测器 电镜附件及外设 流动分析仪 高压吸附仪 固体(粉末)表面分析仪 蒸汽吸附仪/蒸气吸附仪 热重分析仪/热天平（TGA）及热重联用仪 化学吸附仪 其它物性测试仪器 比表面积仪/动态法 离子溅射仪 电子束刻蚀 旋转蒸发仪 镀膜机 等离子体表面处理仪 真空吸液 真空泵 干燥设备/烘箱/干燥箱 分子蒸馏仪 分子互作分析仪 多组分气体分析仪 其它行业专用 其他包装业专用 真空计 原子层沉积(ALD)

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