GB/T 27760-2011
利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic steps
GB/T 27760-2011 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- GB/T 27760-2011
- 发布日期
- 2011年12月30日
- 实施日期
- 2012年05月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- N04
- 国际标准分类号
- 19.020
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- ISO 25178-6-2010 ISO/IEC Guide 98-3-2008 ISO/TS 21748-2004
- 适用范围
- 本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。 本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。 本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。