JC/T 2064-2011
半导体用透明石英玻璃棒

Transparent quartz glass rods for semiconductor


说明:

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JC/T 2064-2011



标准号
JC/T 2064-2011
发布日期
2011年12月20日
实施日期
2012年07月01日
废止日期
中国标准分类号
Q35
国际标准分类号
81.040.30
发布单位
CN-JC
引用标准
GB/T 3284 GB/T 4121 GB/T 10701-2008 GB/T 12442 JC/T 597-2011
适用范围
本标准规定了半导体用透明石英玻璃棒(以下简称石英玻璃棒)的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃棒。 冶金、化学工业用透明石英玻璃棒也可参照本标准执行。

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