ISO 11039:2012
表面化学分析.扫描探针显微镜.漂移率的测定标准

Surface chemical analysis - Scanning-probe microscopy - Measurement of drift rate


标准号
ISO 11039:2012
发布
2012年
发布单位
国际标准化组织
当前最新
ISO 11039:2012
 
 
引用标准
ISO 18115-2
适用范围
本国际标准定义了表征扫描探针显微镜 (SPM) 仪器在 X 和 Y 方向上的漂移率的术语并规定了测量方法,以及对于测量形貌的 SPM 仪器在 Z 方向上的漂移率。 尽管长期漂移率的行为可能是非线性的,但长期漂移率的行为以及用户定义的稳定时间之后的短期漂移率的行为都可以通过典型平均漂移率或典型最大漂移率来表征。 本国际标准适用于基于SPM图像评估漂移率。 它旨在帮助制造商以有意义且一致的方式引用规格中的漂移数据,并帮助用户表征漂移行为,以便设计有效的实验。 这些测量并不是为图像校正而设计的。

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