YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材仪器谱

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标准号: YS/T 936-2013
发布日期: 2013年10月17日
实施日期: 2014年03月01日
废止日期: 无
中国标准分类号: H62
国际标准分类号: 77.150.40
发布单位: CN-YS
引用标准: GB/T 1031 GB/T 6394 GB/T 14265 GJB 1580A YS/T 837

适用范围: 本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同或订货单内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。

YS/T 936-2013
集成电路器件用镍钒合金靶材

Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device

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YS/T 936-2013
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