KS I ISO 14644-4-2007
洁净室和相关控制环境.第4部分:设计、建造和启用

Cleanrooms and associated controlled environments－Part 4：Design, construction and start-up

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标准号

KS I ISO 14644-4-2007

发布日期

2007年10月31日

实施日期

2007年10月31日

废止日期

无

中国标准分类号

C04

国际标准分类号

13.040.35

发布单位

KR-KATS

被代替标准

KS I ISO 14644-4-2002

适用范围

이 규격은 클린룸의 설계와 공사에 대한 요구 조건을 규정하지만 이 요구 조건을 맞추기 위한