KS I ISO 14644-4:2007
洁净室和相关控制环境.第4部分:设计、建造和启用

Cleanrooms and associated controlled environments－Part 4：Design, construction and start-up


 

 

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标准号
KS I ISO 14644-4:2007
发布
2007年
发布单位
韩国科技标准局
替代标准
KS I ISO 14644-4-2007(2017)
当前最新
KS I ISO 14644-4-2007(2022)
 
 
被代替标准
KS I ISO 14644-4:2002
适用范围
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