GB/T 30867-2014
碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
Test method for measuring thickness and total thickness variation of monocrystalline silicon carbide wafers
GBT30867-2014, GB30867-2014
- 标准号
- GB/T 30867-2014
- 别名
- GBT30867-2014, GB30867-2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 30867-2014
- 引用标准
- GB/T 14264 GB/T 25915.1-2010
- 适用范围
- 本标准规定了碳化硅单晶片厚度及总厚度变化(TTV)的测试方法,包括接触式和非接触式两种方式。本标准适用于直径不小于30 mm、厚度为0.13 mm~1 mm的碳化硅单晶片。
GB/T 30867-2014相似标准
推荐
中电科二所在碳化硅激光剥离技术方面取得进展
截止目前，项目团队已掌握激光剥离技术原理与工艺基础，并已基于自主搭建的实验测试平台，结合特殊光学设计、光束整形、多因素耦合剥离等核心技术，成功实现了小尺寸碳化硅单晶片的激光剥离，取得突破性进展。下一步，团队将聚焦激光剥离技术的实用化与工程化，积极推进工艺与设备的协同创新，研发大尺寸化、快速生产化、高良率化、全自动化、低能耗化的激光剥离设备。...
碳化硅外延层厚度及其均匀性的无损检测——红外显微系统
碳化硅外延厚度测定原理在硅同质/异质外延生产中，红外傅立叶变换光谱技术（FTIR）是测试硅外延层厚度一种非常成熟的方法，具有准确、快速、无损等优势，非常适合工业化使用。因此在碳化硅外延厚度测定上也得到了推广应用，已形成了《GB/T 42905-2023碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法》标准。...
实验室分析仪器--红外光谱的液体样品制样方法
折射率与光的波长有关，光的波长不同，折射率会有变化。 表1所列液池材料中，适于有机液体红外光谱测试的是溴化钾、氯化钾和氯化钠，而最常用的是溴化钾和氯化钠。对于水溶液样品红外光谱测试，最常用的窗片材料是氟化钡，甚次是氟化钙。2. 液池种类液体池的种类很多，可以从红外仪器公司购买，也可以自行加工制作。液体池通常分为三类，即可拆式液池、固定厚度液池和可变厚度液池。...
石英晶体振荡器的石英晶体介绍及频率稳定度
前一种符号用一组字母xyzlwt和角度来表示；x、y、z中两个字母的先后排列表示晶片的厚度和长度的原始方位，l（长度）、w（宽度）、t（厚度）表示旋转轴；角度的正、负号表示逆、顺时针旋转。例如,xytl5°/-50°切型，表示晶片原始方位的厚度位于x轴方向，长度位于y轴方向；晶片先绕厚度t沿逆时针方向旋转5°，再绕长度l沿顺时针方向旋转50°。...