笔者根据近几年的生产实践和对国内外相关技术发展的跟踪，综合分析目前主要的检漏/探伤技术和原理，总结出在不同的真空设备及使用工况下各种检漏/ 探伤技术的优缺点，为有检漏及探伤需求的人员提供理论依据。 根据真空设备壳体结构不同，真空设备分双层夹套结构(水冷式)和单层(非水冷式)两种，在此种情况下的缺陷可能会带来漏水或漏气的两种情况。...
如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。 9、最后就是考虑真空泵的初装价格、运转及维修费用了，结合实际情况选择性价比高的真空泵。...
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备（ICP,RIE,PECVD）,热处理设备（合金炉，退火炉），掺杂设备（离子注入机等）这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。氦质谱检漏仪现已广泛应用于半导体设备检漏。 半导体设备及材料需要检漏原因： 1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。...
在真空设备泄漏情况的检查之中也有专业的仪器保证了检查效果的稳定性，而且氦质谱检漏仪精准的线路检测能力得到了更好的提升，该所产品也在我国具体泄漏问题的解决上带来了更多的措施，在我国真空问题的检查之上这种氦质谱检漏仪凭借着其强大的优势获得了更好的应用，而根据分析这种氦质谱检漏仪的优势大致有如下几种。1....
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