图片来自百度百科涡轮分子泵的特点 02分子泵性能和特点泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比不仅与泵的级数和转速有关，还与气体的种类有关。具有高分子量的气体具有高压缩比。氮气（或空气）的压缩比为108～109；氢气为 102 ~ 104；对于油蒸气等分子量较大的气体，大于1010。...
(根据Willi Becker 理念制造出的第一台涡轮泵)自1945年担任实验室主任以来，工程师Willi Becker一直致力于优化扩散泵的性能以及找到避免抽送能力下降过半的方法——而造成性能下降的就是当时必须使用的挡板。在实验中，他发现装有涡轮叶片的旋转圆盘具有抽吸效果，从而想到制造一种对吸入气体无气阻的挡板。沿着这条思路出发，1955年涡轮分子泵问世。...
1978美国航空航天局的定制涡轮泵1976年3月， 普发真空受邀参加美国航空航天总局的招标，开始研发小型涡轮分子泵。经过一年的改进，交付给美国航空航天局的TPU 25经受住了所有质量检验和各种其他测试。1985发明SplitFlow涡轮分子泵首款 SplitFlow 涡轮泵上市。之后对其进一步开发并针对不同应用领域优化出不同版本。...
全文共3762字，阅读大约需要10分钟涡轮分子泵是高或者超高真空泵，可以提供无油的超高真空度，因此是质谱仪的重要组成部分，想要更好的使用质谱仪，就不得不了解涡轮分子泵工作原理的基础及合适的（前级）泵的择。第一台涡轮分子泵是在1955年发明的。...
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