GB/T 7774-1987
涡轮分子泵 性能测试方法

Methods of measurement of the performance characteristics of turbo-molecular pumps

GBT7774-1987, GB7774-1987

2008-06

 

 

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标准号
GB/T 7774-1987
别名
GBT7774-1987, GB7774-1987
发布
1987年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 7774-2007
当前最新
GB/T 7774-2007
 
 
适用范围
本标准适用于涡轮分子泵极限压力、抽速及最大压缩比的测试。所用前级泵的抽速,应是分子泵名义抽速的0.02~0.1倍。分子泵性能测试选定两个压力范围。即: 1~10-4Pa; 低于10-3Pa。

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