GB/T 32386-2015
电子工业用气体 六氟化钨

Gases for electronic industry.Tungsten hexaflouride

GBT32386-2015, GB32386-2015

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标准号

GB/T 32386-2015

别名

GBT32386-2015, GB32386-2015

发布

2015年

发布单位

国家质检总局

当前最新

GB/T 32386-2015

 

 

引用标准

GB 14193 GB 15258 GB 16804 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 26571 GB/T 28726 GB/T 3723 GB/T 5275.10 TJ 36-79 危险化学品安全管理条例(2002版) 气瓶安全监察规程(2000版) 特种设备安全监察条例(2009版)

适用范围

本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。 分子式：WF₆。 分子量：297.830 419 2(按2009年国际相对原子质量计算)。

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