GB/T 18867-2002
电子工业用气体 六氟化硫
Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
GBT18867-2002, GB18867-2002
2015-07
- 标准号
- GB/T 18867-2002
- 别名
- GBT18867-2002, GB18867-2002
- 发布
- 2002年
- 采用标准
- SEMI C3.24-1995 NEQ
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 18867-2014
- 当前最新
- GB/T 18867-2014
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。
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