MEMS电场传感器通用技术条件 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
本项目围绕国家重大需求,自主创新,历经十余年,突破了电场探测先进传感器核心技术瓶颈,取得重要创新成果。发明了基于MEMS(微机电系统)技术的创新性高性能电场传感器敏感结构,研制出国际最高分辨力的电场敏感芯片;发明了抗表面电荷积聚和离子流噪声干扰、环境适应性强的MEMS电场传感器敏感芯片封装方法与结构,研制出MEMS电场传感器系列新产品。...
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