GB/T 36306-2018
洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南

Cleanrooms and associated controlled environments.Guidelines for airborne chemical contamination control

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标准号

GB/T 36306-2018

发布日期

2018年06月07日

实施日期

2018年10月01日

废止日期

无

中国标准分类号

C70

国际标准分类号

13.040.35

发布单位

CN-GB

引用标准

GB/T 25915.8-2010

适用范围

本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。 本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。 本标准不适用于核能和军事应用。

GB/T 36306-2018系列标准