VDI 2083 Blatt 10-1998
洁净室技术 高纯度/超高纯度（HP-/UHP-）介质供应系统
Cleanroom technology - High-Purity/Ultra-High-Purity (HP-/UHP-)media supply systems
- 标准号
- VDI 2083 Blatt 10-1998
- 发布
- 1998年
- 发布单位
- 德国机械工程师协会
- 替代标准
- VDI 2083 Blatt 7-2015
- 当前最新
- VDI 2083 Blatt 7-2015
- 引用标准
- BGR 120-1998 BGR 132-1989 DIN 2403:1984 DIN 4768:1990 DIN 477-9:1989 DIN EN 10204:1995 DIN EN ISO 9001:1994 DIN EN ISO 9002:1994 DIN EN ISO 9003:1994 DIN EN ISO 9004-1:1994 DruckbehV-1989 ElexV-1996 EX-RL-1985 TA Luft-1986 TRb TRB Reihe TRF Reihe WHG-1996
- 被代替标准
- VDI 2083 Blatt 10-1995
- 适用范围
- 高纯度/超高纯度 (HP-/UHP-) 介质（化学品和气体）越来越多地用于许多生产目的。目的是维持供应点 (POS) 和进入点 (POE) 之间的清洁度水平，或者仅在允许的某些规定区域接受纯度降低。本指南的目的是总结有关 HP/UHP 介质供应系统的设计、构造、操作和监控的知识。清洁度是指残留污染物，如颗粒、阳离子、阴离子、TOC 和其他特定参数（外来气体、湿度等）。没有提供有关清洁度要求条件的信息，因为这些条件应由相应用户根据预期用途确定。