ISO 14644-12:2018
洁净室和相关控制环境.第12部分：通过纳米颗粒浓度监测空气清洁度的规范
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration
- 标准号
- ISO 14644-12:2018
- 发布
- 2018年
- 中文版
- GB/T 25915.12-2021 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 14644-12:2018
- This document covers the monitoring of air cleanliness by particles in terms of concentration of airborne nanoscale particles. For monitoring purposes, only populations of particle...
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