IEC TR 63258:2021
纳米技术 用于评估纳米级薄膜厚度的椭圆偏光应用指南
Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
IEC TR 63258:2021相似标准
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共聚焦轮廓仪
PSI算法借助适当的程序将表面相位图转换为样品高度分布图。 PSI模式可在所有的数值孔径(NA)下提供亚纳米级的垂直分辨率。放大倍率较小时(2.5X)可以测量较大视场范围，并具有同样的垂直分辨率。但是光波相干长度使其测量范围限制在微米级。PSI算法使neox 得到纳米尺度的形态特征，并以亚纳米尺度对超平滑的表面纹理参数作出评估。...
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Scientific reports: 半导体先进制程中测量并判断基底粗糙度对上层超薄氧化铪薄膜粗糙度的影响
布鲁克文章推荐 第63期 Bruker Journal Club 布鲁克纳米表面仪器部 孙佩玲 博士 在目前的纳米级半导体制造中，高介电材料和超薄多层材料多用于提高器件的性能，薄膜之间的界面效应和表面信息的定量化成为决定半导体器件性能的关键。本文作者对氧化铪超薄膜的界面效应进行了研究，提出了一种简单、准确、无损的诊断方法：粗糙度缩放方法。...
偏振概论
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