μEDX大幅度地提高了传统的X射线荧光光谱仪无法完成的微小领域分析的灵敏度。配备新开发的X射线集束毛细管透镜，实现了zei小分析直径达50μm的微区测定，适合半导体/电子部件/食品领域等高灵敏度、高分辨率分析。

●测定原理 x射线荧光分析发法　　　　　●x射线管　Rh耙
●测定方法能量散射型　　　　　　　　　●检测器Si(Li)半导体检测器
●测定对象固体、液体、粉体　　　　　　（μEDX-1200，1300），Si漂移半导体
●测定范围13AI~92U（μEDX-1200）　　　　检测器（μEDX-1400）
　　　　　　11Na~92U（μEDX-1300）　　　　●样品形状zei大150mmх150mmх40mmH
　　　　　　13AI~92U（μEDX-1400）

· 采用岛津独创的Ｘ射线聚光透镜[集束毛细管透镜]，X射线只照射样品的50μmφ微小领域，实现高灵敏度、高精度分析。
· 可以在大气中进行从轻元素到重元素(Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200/ 1400)的分析。
· 配备双CCD(高倍率,低倍率)摄像头，可以在观察样品图像的同时方便地决定分析位置，进行分析。
· 标准配备无标样定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以测定聚合物薄膜的背景基本参数（BG-FP）法。
· 作为微区Ｘ射线荧光光谱分析装置，在世界上率先配备了5种1次Ｘ射线滤光片自动交换机构，可消除来自Ｘ射线管的特征Ｘ射线，提高信噪比。
· 配备多元素同时/自动扫描成图功能。采用高速扫描成图，在短时间内便可获得图像(μEDX-1200/1300)。追加透射观察单元(选购)，也可进行透射Ｘ射线的同时测定。
· 配备电子冷却式高计数率检测器。无需液氮，可进行高精度分析。
(μEDX-1400)
· 可轻松地进行电子材料/部件的镀层膜厚

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途