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产品规格FIB离子源Ga （镓）液态金属离子源加速电压1～30ｋV（5 kV/步）放大倍率×60 （用于视场搜索）×200～×300,000图像分辨率......
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“NEOARM” 标配了日本电子独自开发的冷场发射电子枪（Cold-FEG）和全新的高阶球差校正器（ASCOR）。无论是在200kV的高加速电压还是在30kV的......
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