英国Quorum/Emitech K1050X射频等离子刻蚀清洗系统

仪器简介：
K1050X等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成，同时两种处理气体流量针阀监控，全部或部分通气口控制。
它的腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，方便使用。
真空系统为旋转机械泵或可选用膜片泵作为前级真空的涡轮分子泵。
在真空装载端口及SEM/TEM中特殊的清洁应用时，可方便更换抽屉式抽拉系统。
此系统通常使用氧及氩的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），氩对样品表面进行刻蚀。
应用：
● 石棉试样制备
● 有机材料微观灰化
● SEM&TEM中有机样品刻蚀
● 去除光刻胶及电子元件中的包胶
● 塑料品的表面处理
● SEM/TEM中的样品夹清洗

技术参数：
仪器尺寸：450mm W x 350mm D x 300mm H 重量：25Kg
桶形工作腔室：‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.（硼硅酸盐玻璃作为标准配置）
拉出式抽屉：样品托盘为抽拉式
等离子输出：射频电源-固态150瓦射频峰值，通常操作范围在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
(备注：所使用的频率为国际标准组织CISPR认可的“工业”频率)
真空测量范围：完整的操作真空显示的活性计量头ATM - 1x10-5 mbar全刻度-通常操作真空为0.5mbar到1.0mbar
数字计时单元：99.9小时选择范围时间显示。在灰化过程结束后自动终止。
双气体流控制：双气体针阀控制，可选1或2或两种气体（校准5到 100cm3/分 空气 @ A.T.P.）
电源：230V 50Hz (包括泵zei大电流5 Amp)；115V 60Hz(包括泵zei大电流10 Amp)
Services： Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)
真空泵：No. 2 泵 (with a synthetic oil 'Fomblin' for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr

主要特点：
特点：
● 固态射频发生器及调谐电路
● 全自动控制
● 抽屉式结构
● 两种处理气体
● 紧凑的台式系统
优点：
● 低温灰化过程
● 易操作
● 装/卸样品方便
● 可选择不同的混合气体
● 节省空间
● 注：我们建议使用No. 2泵，它具有“专用的油”。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途