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等离子清洗器
英国Quorum/Emitech
英国Quorum/Emitech K1050X射频等离子刻蚀清洗系统
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仪器简介：K1050X等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成，同时两种处理气体流量针阀监控，全部或部分通气口控制。 它的腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式......
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