XTC/3薄膜镀层控制仪

简介

先进,实用的单层和多层镀膜速率控制

用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3
装备有ModeLock¹专利技术,提供验证的模式跳跃防止功能,可达到始终如一的镀膜质量. 使用XTC/3薄膜镀层控制仪,可高度精确地控制镀膜速率与膜层厚度, 具有能控制几乎任何膜层数量的能力,容易安装,和极高的可靠性,可确保高的生产率.

 
■  有单膜层和多膜层型号
■  ModeLock专利技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差
■  支持INFICON Crystal 12^™, CrystalSix^®和双传感器自动晶体切换,用于最高生产率
■  XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程, 999个膜层, 32个镀层, 2个传感器和两个源
■  XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层, 2个传感器和两个源
■  易阅读的TFT LCD图形显示器
■  为便于检索,可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称
■  有以太网连接件
■  单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows^®软件选件  
■  INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换件(限于XTC/2功能和指令组)

应用：

集成电路执照
光学镀膜
溅射镀膜
薄膜太阳能电池制造
OLED制造

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途