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透射电子显微镜（Transmission electron microscope，缩写TEM），简称透射电镜，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子......
随着半导体电子器件及集成电路技术的飞速发展，器件及电路结构越来越复杂，这对微电子芯片工艺诊断、失效分析、微纳加工的要求也越来越高。FIB双束扫描电镜所具备的强大......
FIB双束扫描电镜是指同时具有聚焦离子束(FocusedIonBeam，FIB)和扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope，SEM)......
FIB是将液态金属离子源产生的离子束经过加速，再聚焦于样品表面产生二次电子信号形成电子像，或强电流离子束对样品表面刻蚀，进行微纳形貌加工，通常是结合物理溅射和化......
FIB双束扫描电镜截面分析，运用离子束刻蚀或气体增强刻蚀，FIB技术可以精确地在器件的特定微区进行截面观测，形成高分辨的清晰图像，并且对所加工的材料没有限制，同......
绝缘材料是在允许电压下不导电的材料，但不是绝对不导电的材料，在一定外加电场强度作用下，也会发生导电、极化、损耗、击穿等过程，而长期使用还会发生老化。......
SEM-FIB(Scanning Electron Microscope-Focused Ion Beam)，通常被称为双束电镜（DB,Dual Beam）,双......
基本原理就是利用强电场将灯丝的电子汇聚到尖端发射出，灯丝一般为金属钨，在尖端镀有一层二氧化锆，然后再通过聚光镜将电子束聚焦成很小的束斑，束流推进器进一步高压加速......
典型的离子束显微镜包括液态金属离子源及离子引出极、预聚焦极、聚焦极所用的高压电源、电对中、消像散电子透镜、扫描线圈、二次粒子检测器、可移动的样品基座、真空系统、......
透射电子显微镜 (Transmission ElectronMicroscope，简称TEM) ，可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构，这些......