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赛默飞(原FEI)
随着TEM的发展,相应的扫描透射电子显微镜技术被重新研究,而在1970年芝加哥大学的阿尔伯特·克鲁发明了场发射枪,同时添加了高质量的物镜从而发明了现代的扫描透射......
赛默飞(原FEI)
1927年,徳布罗意发表的论文中揭示了电子这种本认为是带有电荷的物质粒子的波动特性。TEM研究组直到1932年才知道了这篇论文,随后,他们迅速的意识到了电子波的......
赛默飞(原FEI)
1928年,柏林科技大学的高电压技术教授阿道夫·马蒂亚斯让马克斯·克诺尔来领导一个研究小组来改进阴极射线示波器。这个研究小组由几个博士生组成,这些博士生包括恩斯......
赛默飞(原FEI)
1858年,尤利乌斯·普吕克认识到可以通过使用磁场来使阴极射线弯曲。这个效应早在1897年就由曾经被费迪南德·布劳恩用来制造一种被称为阴极射线示波器的测量设备,......
赛默飞(原FEI)Talos
恩斯特·阿贝最开始指出,对物体细节的分辨率受到用于成像的光波波长的限制,因此使用光学显微镜仅能对微米级的结构进行放大观察。通过使用由奥古斯特·柯勒和莫里茨·冯·......
赛默飞(原FEI)Talos
用透射电子显微镜观察时的样品需要处理得很薄。常用的方法有: 超薄切片法、冷冻超薄切片法、冷冻蚀刻法、冷冻断裂法等。对于液体样品,通常是挂预处理过的铜网上进行观察......
赛默飞(原FEI)Talos
透射电子显微镜在材料科学 、生物学上应用较多。由于电子易散射或被物体吸收,故穿透力低,样品的密度、厚度等都会影响到最后的成像质量,必须制备更薄的超薄切片,通常为......
赛默飞(原FEI)Talos
相位像: 当样品薄至100A以下时,电子可以穿过样品,波的振幅变化可以忽略,成像来自于相位的变化。产品描述高分辨率成像,获取更高质量的数据 Talos......
赛默飞
行射像: 电子束被样品衍射后,样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力,当出现晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同,从而使衍射波......
赛默飞
吸收像:当电子射到质量、密度大的样品时主要的成相作用是散射作用。样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大,通过的电子较少,像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基......
赛默飞
透射电子显微镜工作原理是由电子枪发射出来的电子束,在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜,通过聚光镜将之会聚成一束尖细、明亮而又均匀的光斑,照射在样品室内的样品上;......
赛默飞
透射电子显微镜 (Transmission ElectronMicroscope,简称TEM) ,可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构,这些......
赛默飞(原FEI)Helios
典型的离子束显微镜包括液态金属离子源及离子引出极、预聚焦极、聚焦极所用的高压电源、电对中、消像散电子透镜、扫描线圈、二次粒子检测器、可移动的样品基座、真空系统、......
赛默飞(原FEI)Helios
基本原理就是利用强电场将灯丝的电子汇聚到尖端发射出,灯丝一般为金属钨,在尖端镀有一层二氧化锆,然后再通过聚光镜将电子束聚焦成很小的束斑,束流推进器进一步高压加速......
赛默飞(原FEI)Helios
SEM-FIB(Scanning Electron Microscope-Focused Ion Beam),通常被称为双束电镜(DB,Dual Beam),双......
赛默飞(原FEI)Helios
 绝缘材料是在允许电压下不导电的材料,但不是绝对不导电的材料,在一定外加电场强度作用下,也会发生导电、极化、损耗、击穿等过程,而长期使用还会发生老化。......
赛默飞(原FEI)Helios
FIB双束扫描电镜截面分析,运用离子束刻蚀或气体增强刻蚀,FIB技术可以精确地在器件的特定微区进行截面观测,形成高分辨的清晰图像,并且对所加工的材料没有限制,同......
赛默飞(原FEI)Helios
FIB是将液态金属离子源产生的离子束经过加速,再聚焦于样品表面产生二次电子信号形成电子像,或强电流离子束对样品表面刻蚀,进行微纳形貌加工,通常是结合物理溅射和化......
赛默飞(原FEI)Helios
FIB双束扫描电镜是指同时具有聚焦离子束(FocusedIonBeam,FIB)和扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope,SEM)......
赛默飞(原FEI)Helios
随着半导体电子器件及集成电路技术的飞速发展,器件及电路结构越来越复杂,这对微电子芯片工艺诊断、失效分析、微纳加工的要求也越来越高。FIB双束扫描电镜所具备的强大......
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