PCE-8等离子清洗机

PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为 Φ8.5 "×12"的石英腔体，采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

主要特点

1、采用6″彩色触摸屏，可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。

2、内部配有0-500mm/min的质量流量计，可以精确地控制进气流量。

技术参数

1、电源：AC220V

2、射频功率：最大100W，可在0-100W间调节

3、真空泵功率：<500W

4、总功率：<600W

5、射频：13.56MHz

6、等离子腔体：高纯石英腔体，外径 Φ8.5 "，内径 Φ8.2 "，长12"，采用铝制折叠式法兰进行真空密封，法兰设有一个

               Φ60mm的观察窗口

7、极限真空度：50mtorr

8、通入气体：可通入多种气体，如N₂、Ar、Air、H₂、O₂和混合气体等等（根据材料性质所定）

产品规格

尺寸：620mm×450mm×600mm

标准配件

1、直连式双旋真空泵（240L/min）

2、KF25波纹管

3、KF25手动挡板阀

可选配件

1、300W、600W射频电源（进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验）

2、2″-6″石英舟（盛放基片）

3、2-4通道浮子混气系统

4、2-4通道质子混气系统

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途