离子束溅射沉积系统

仪器简介：
应用:
自旋阀 /AMR/ GMR
磁隧道结
介电界面涂层
Rugate Filters
High-k 材料
形状记忆合金
光电材料
超导材料
单一结晶GaN

主要特点：
高效高产量，低能量等离子体源
6 x 4" 偏置靶材旋转架
独立偏置靶材，专业用于控制沉积合金复合材料
100mm 直径样品表面处理
<3% 非均匀性（75 mm面积）
衬底样品表面等离子体清洗，刻蚀氧化，氮化
水冷，旋转，磁化，挡板样品台，加热至 600 C
单片样品传输台（load lock stage）

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途