表面形貌的精准包括光学特性厚度及表面形貌三方面的测量.在半导体和平板显示领域,为了测量形貌,非接触式形貌测量技术被广泛研究.

在追求测量精准方面,K-MAC在解析度、速度、范围三方面的完美结合上提出了白光干涉3D形貌测量，这项技术已被广泛的应用于台阶高度、临界系数、形貌、粗糙度，倾角以及移动侦测等方面

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