激光共聚焦 三维激光共聚焦显微镜NS3500

NS3500三维激光共聚焦显微镜NS-3500是一种准确、可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。
通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。
在测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等方面提供无可比拟的解决方案。 性能优势：
-高分辨率非破坏性光学三维测量
-实时共焦成像
-多种光学变焦同时进行
-亮场和共焦成像
-自动获取最佳聚焦位置
-倾斜补偿
-简易分析模块
-精确可靠的高速高度测量
通过半透明基板检测特征
-无样品准备
-大范围图像拼接检测 软件：图像拼接：对于大范围的检测，可使用自动XY平台和NS-3500图像拼接软件NSMosaic对预测的区域进行连续测量和图像拼接。
拼接后的图像可以作为一个单一的测量结果进行分析。 应用领域：
NS-3500是测量高度、宽度、角度、面积和体积的一种有效的解决方案，例如：
-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺
-FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度
-MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案
-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析 规格：型号显微镜  NS-3500备注
控制器    NS-3500E
物镜倍率10x20x50x100x150x
观察/  测量范围：
水平 (H):μm1400 700 280 140 93
垂直 (V):μm1050 525 210 105 70
工作范围:mm16.5 3.1 0.5 40.3 0.2
数值孔径(N.A.)0.30 0.46 0.80 0.95 0.95
光学变焦x1tox6
总放大倍率178xto26700x
观察/测量光学系统
针孔共聚焦光学系统
高度测量测量扫描范围
精细扫描 :400μm(and/or) 长扫描 :10mm[NS-3500-S]注1
长扫描 :10mm[NS-3500-T]
显示分辨率0.001μm
重复率 σ0.010μm注2
宽度测量显示分辨率0.001μm
重复率 σ0.02μm注3
帧记忆像素1024x1024,1024x768,1024x384, 1024x192,1024x96
单色图像12bit
彩色图像8-bitforRGBeach
高度测量16bit
帧速率表面扫描20Hzto160Hz
线扫描~8kHz
自动功能自动对焦
激光共焦测量
光源波长紫光激光,405nm输出~2mW
激光等级Class3b
激光接收元件PMT(光电倍增管)
光学观察光源灯10WLED
光学观察照相机
成像元件1/2” 彩色图像 CCD 传感器
记录分辨率640x480
自动调整增益, 快门速度,Whitebalance
数据处理单元专用 PC
电源电源电压100to240VAC,50/60Hz
电流消耗500VAmax.
重量显微镜Approx.~50kg(Measuringheadunit:~12kg)
控制器~8kg
隔振系统有源隔离器Option
精细和长距离扫描仪的双重扫描模式仅适用于NS-3500-S（单镜头类型）。         注1:精细扫描由压电执行器（PZT）执行。
注2:以100×/0.95物镜对标准样品（步长1μm）进行100次测量

进行100次测量，使用100×/0.95物镜对标准样品（5μm间距）进行

注：以上数据经过100次测量取得。

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