Semilab SDI 體內少數載流子擴散長及CV電性检测设备-体内少数载流子扩散长及电性检测设备

仪器简介：

应用： 
◆硅料 
◆太阳能 
◆集成电路制造等

技术参数：

Semilab SDI设备主要用于硅片体内的少数载流子寿命（扩散长）的监测及定量定性检测影响少数载流子的寿命（扩散长）的金属污染（铁、铜等）含量。设备由光路系统、信号分析及处理系统、数据处理系统及自校准系统（设备内建有标准片）组成。

主要特点：

◆SPV(表面光电压)- 硅片表面不需要做钝化处理即可以做少数载流子寿命测试； 
◆Surface Lifetime- 硅片浅层的少数载流子寿命检测； 
◆Surface Recombination – 硅片的表面复合测试； 
◆SPV(表面光电压)- 可测试硅片体内的Fe及B02的含量； 
◆设备的Multiple wafersize 功能可以兼容测试100mm-300mm的硅片及硅棒。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途