ES05是针对科研和工业环境中薄膜测量推出的固定入射角光谱椭偏仪，仪器波长范围370-1000nm。ES05固定入射角光谱椭偏仪用于测量单层和多层纳米薄膜的层构......
ES03是针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度多入射角光谱椭偏仪，仪器波长范围从紫外到近红外。ES03多入射角光谱椭偏仪用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数......
ES01是针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度全自动光谱椭偏仪，系列仪器的波长范围覆盖紫外、可见到红外。ES01系列光谱椭偏仪用于测量单层和多层纳米薄膜的层......
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