Diener等离子表面处理设备                         德国原装进口

德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等离子应用最先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。

目前设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的最优质产品，以保证性能技术稳定。

德国diener等离子表面处理设备特点：

• 等离子清洗机清洗效果好，效率高，应用范围广。

• 对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求

•  等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

• 射频功率无极连续可调。

•  高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。

• 特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理效率最大化，同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。

•  特有的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全。

• 设备整体模块化设计，安装与维护极为简单。

德国diener等离子表面处理设备的应用范围：   

•     清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。

•     清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

•         移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。

•         清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。

•         清洗半导体元件、印刷线路板。

•         清洗生物芯片、微流控芯片。

•         清洗沉积凝胶的基片。

•         高分子材料表面修饰。

•         牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。

•         改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

•         煤、石棉灰化。

Diener Tetra30 Plasma 

主要技术参数：

1.   *便捷的PC触摸屏控制，操作系统为Windows CE5.0(ARM)

2.   *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量与时间等参数       

3.   双路工作气体，气体流量通过数字式流量计（MFC）控制

4.   *反应舱为不锈钢，宽305mm ×深625 mm×高300 mm，容积约为50L

5.   高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W

6.   反射波自动调节，无须手工调节

7.   电极材质为铝/不锈钢

8.   运行模式为手动/自动

9.   *可存储多套工艺程序，图表实时显示工艺过程

10.真空泵的排气能力为16m3/Hour，配有强制进气阀

11.*配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

12.电源电压：400V /16A

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途