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高真空对于电扫描探针显微镜的优势 |
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2004年,石墨烯作为一类新材料原型的被发现,引起了人们对二维(2D)层状材料的极大兴趣。1从那时起,人们合成并探索了各种各样的二维材料。2-6其中,过渡金属二氯代物 (TMDs) 因其固有的带隙、小的介电常数、高的迁移率和超薄的材质而引起了人们的广泛关注, 这使其有望成为将逻辑技术延伸到5nm以上节点的候选材料。然而,在300mm兼容的制造环境中集成此类材料仍然面临许多挑战,尤其是因为在薄片或单个晶粒中观察到的有用特性,高质量TMD层的可控生长、转移和加工仍然是一个关键障碍。