半导体和电子器件的AFM失效分析

SSRM AFM，用于半导体失效分析的最佳选择

Park NX-Hivac上提供的高真空扫描扩展电阻显微镜（SSRM），可实现新一代设备的2D载体轮廓分析，并在高真空条件下测量高分辨率SSRM图像，以提高产品良率。高真空SSRM测量显示出比一般环境条件下更高的精度和分辨率。由于对电流信号具有极高的灵敏度和响应能力，SSRM可确保精确的测量和高重复性，为半导体失效分析提供了一个高水平工具。此外，将称为 PinPoint™ 的新操控AFM模式与SSRM集成在一起，可以同时获取形貌，电学和机械性能数据。 并且，与标准的SSRM相比，以接近-缩回方式操作可大大减少摩擦和针尖磨损。