YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR200/300/301-柜谷科技发展（上海）有限公司

参考报价：	面议	型号：	PR200/300/301
品牌：	雅马拓	产地：	日本
关注度：	884	信息完整度：
样本：		典型用户：	暂无
价格范围	20万-30万

设备尺寸	W350×D400×H500mm/W438×D520×H556mm/W438×D520×H630mm	功率	Max300W
工作气体	1系统（氧气）流量计	射频频率	13.56MHz

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AI问答

可以做哪些实验，检测什么？可以用哪些耗材和试剂？

产品简介产品推荐相关产品

从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机
用途
● 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通过氧化反应，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影响）。同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生成-NH 2等官能基。
● 硅晶圆蚀刻。
● 材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
● 石棉预处理（膜过滤灰化）。
● 从电子设备到生化市场。
● 低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
● 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
● 表面有机物去除
特点
● RF为200 W的高性能输出类型（PR200）。
● 由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装。
● 同步，自动调谐，操作简单（PR200）。
● 等离子体反应器（灰化设备）（PR200）。
● 同步、自动调谐（PR200）。

反应腔

［例］石棉分析前处理

规格

型号	PR200	PR300	PR301
模式	DP模式，桶型
控制部	高频输出	Max300W
频率	13.56MHz
同调方式	手动2轴同调方式
反应部	反应腔	耐热玻璃 Φ100×160mm	超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室	耐热玻璃 Φ118×160mm
反应气体	1系统（氧气）流量计
控制	手动密闭阀	自动减压、自动密闭阀
配管材质	不锈钢、特氟龙、铜、铜合金	不锈钢、特氟龙
外形尺寸	W350×D400×H500mm	W438×D520×H556mm	W438×D520×H630mm
重量	约10kg	约36kg	约34kg
电源	AC100V 15A	AC100V 7A