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武汉嘉仪通科技有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | RTP-3-08 |
| 品牌： | 嘉仪通 | 产地： | 湖北省武汉市 |
| 关注度： | 2 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
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发布时间：2023年06月
关键词：快速退火炉 真空快速退火炉
武汉嘉仪通科技有限公司成立于2009年，是一家技术自主创新的国家新技术企业。公司集快速退火炉研发、市场和技术服务于一体的真空快速退火炉厂家。
本公司生产销售的真空快速退火炉覆盖1-12吋样品测试，分为科研与产线两种应用场景类型共8款机型。
RTP-3-08系列自立式8吋真空快速退火炉采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品(8英寸)快速升温和降温，可用于快速热处理(RTP)、快速热退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等半导体工艺。
真空快速退火炉产品特点：
快速加热和降温: 可控升温速率可达50 ℃/s，特定条件下可以达到100 ℃/s。冷壁水冷设计能够达到较大的降温速率，特定条件下可达30 ℃/s。
精确控温: 采用工业级温控器进行PID精确控温，目标温度与设定温度曲线一致性高，可实现室温至1200 ℃的温度精确控制。
适应多种工艺环境: 满足多种工艺气氛下的热处理（氮气、氩气等）。同时，通过选配真空泵，可以在真空条件下进行退火，真空度可达10-3Pa。
配备观察窗口: 通过观察窗口，可以实时观察热处理过程中的样品变化。同时，可以结合相关测试方法进行原位测试分析。
超高安全系数: 采用炉壁超温报警系统和冷却水流量报警系统，多方位保障仪器使用安全。
真空快速退火炉厂家：拥有自主研发技术和制造能力，能快速反应客户售后需求。
真空快速退火炉技术参数：
型号 | 1-12英寸系列 |
温度 | 1200℃ |
升温速率 | 50℃/s |
温度均匀性 | ≦1%设定温度 |
温度控制 | 选用工业级温控器，控温精度±0.1℃ |
温度传感器 | 标准K型热电偶 |
降温速率 | 1200℃→400℃，200℃/min 400℃→100℃，20℃/min （自然冷却） |
样品尺寸 | 1-12英寸样品 |
真空快速退火炉厂家 服务的客户：
公司的快速退火炉服务于的大学有：清华大学、复旦大学、南京大学、浙江大学等大学；
服务的重要科研院所：中科院微电子所、半导体所、微系统所、绵阳九院等；
服务的半导体企业有：华为海思、三安光电、敏而精密、泽达等等头部半导体企业等等。
真空快速退火炉 半导体RTP\RTA\RTN设备信息由武汉嘉仪通科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于真空快速退火炉 半导体RTP\RTA\RTN设备报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
