大型紫外臭氧清洗机

大型紫外臭氧清洗机是一款采用抽屉式装载基片的UV光清洗机，适用中大型基片等清洗，如液晶面板，ITO导电玻璃，晶圆，OLED，LCD，硅片，陶瓷，金属片，聚合物，硅胶等表面清洗，用于清洗产品的表面有机物，即进行表面改质，从而获得较好的亲水性，可根据客户要求进行客户化设计。

大型紫外臭氧清洗机

产品配置

（1）整机采用不锈钢304制作，关键元器件采用施耐德，欧姆龙等品牌；

（2）电源：220V；

（3）灯管：根据客户需求定制灯管功率及尺寸，寿命5000小时；

（4）主要工作光谱：185nm+254nm；

（5）有效清洗面积：350*350MM，320*380MM或客户需要尺寸；

（6）清洗时间控制器：0-99.99小时或分钟；

（7）安全防护功能：当清洗腔门打开时，灯管自动熄灭；

（8）照射高度：可定制

（9）UV ON/OFF指示，异常指示/警报；

（10）灯管预热：具灯管预热提示功能，使清洗数据更精准；

（11）加热（选配）：可选择加配外置加热平台，温度范围：常温-450摄氏度；

（12）排风功能：自带臭氧排风系统，可分档调节风速，8cm直径出风口，配置风管及紧固件；

应用领域

■在进行薄膜沉积之前先进行基片清洗。清除浮渣和稳定化处理光刻胶。超高真空度密封。

■清洗硅芯片，透镜，反光镜，太阳能面板，冷轧钢，惯性引导零件和 GaAs芯片

■清洁焊剂，混合电路以及平板LCD显示器

■蚀刻特氟隆，氟橡胶以及其它有机材料

■增强GaAs 和Si氧化物钝化表面

■增强玻璃的除气作用

■基片蓝膜去除

■增强塑料表面的镀膜的粘附性

■基片终测后墨迹清楚

■去除光刻胶

■平板显示器/液晶显示器

■去除光刻机台上的光刻胶残留物

■在电路板封装和打片之前清洗）

■光纤

■增强表面亲水特性

■为生物科学应用做清洗和消毒

■光学透镜

■其它应用

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途