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北京先锋泰坦科技有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | SIT-200 |
| 品牌： | Alnairlabs | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 433 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
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SIT-200 硅晶圆检测仪是Alnair Labs 公司采用高速扫频激光器，利用干涉计量的方法设计制造的用于硅晶圆厚度检测的干涉仪。与常规测厚采用宽带光源不同，可调谐激光器具备很高的功率谱密度，从而提高了测量的动态范围，因此，SIT-200 支持非抛光的晶圆测量，例如在湿刻过程中以及湿刻之后的晶圆。
• 全光学，非接触式晶圆厚度传感
• 高动态范围，可测量不规则表面
• 支持湿刻制程中实时测量
• 高灵敏度、高准确度、高速度
• 远程控制
测量原理
技术指标
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可测样品 |
硅晶圆 |
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可测厚度范围 |
10 - 500 (n=3.5) |
m |
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精密可调谐激光 |
1515 - 1585 |
nm |
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光功率 |
0.6 |
mW |
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指引光 |
红色，Class 1M |
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测量时间 |
最短 20 |
ms |
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可重复性 |
<0.1 (3-σ) |
m |
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监控输出 |
干涉信号输出 |
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PC 界面 |
Ethernet |
精密扫频激光光源以高速度调谐激光波长。样品前、后表面反射的激光的干涉信号经过PD 探测后，根据波长- 干涉信号强度的关系即可得到晶圆厚度。
硅晶圆检测仪SIT-200信息由北京先锋泰坦科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于硅晶圆检测仪SIT-200报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
