PPR系列过程检测系统

PPR过程监控系统是过程监测和诊断的真空检测仪。两种不同的进气路径提供给残余气体分析仪（RGA）：一路高压进气模式用来检测基本真空，一路分压模式用来检测过程压力。压力减少路径包含一个微小孔径，其目的是使运行压力工作在0.01，0.1，1或10Torr。 它使待测压力环境满足RGA的工作要求约10-6 Torr。 这种压力控制系统是由涡轮分子的混合泵和隔膜甭组成。 两台泵为无油工作，不会污染您的操作系统。
PPR进气接口链接到被检测的过程检测系统有几种方法。 该系统包括RGA，旁通阀和三通，控制器，涡轮泵，隔膜泵，和Windows 软件程序进行数据采集和控制。
该软件可用于多种模式，包括模拟扫描，直方图模式，压力与时间模式。双路法拉第杯和电子倍增器检测器，电子倍增器提供更高的灵敏度和较高的扫描速度。PPR系统出厂时组装完全和校准，可便捷的连接到真空系统中。
主要应用：真空在线检测；高真空成份分析；MOCVD 等在线过程监控；10mTorr-10Torr 真空度内反应过程检测等等

主要性能

• 0.01, 0.1, 1.0 或 10 Torr进口压力

• 3 × 10-5 Torr-L/s流量

• 2秒的响应时间(0.1Torr)

• 100、200或300amu系统

• 现场可替换的电子培增管和灯丝

• 6个数量级动态范围

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途