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时间分辨精细阴极荧光分析系统 Chronos 中文样本 |
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Attolight SEM-CL 系统自带有集成了光镜的扫描电子显微镜 (10nm 空间分辨率)。光镜被嵌入在扫描电镜的电子物镜,使 两者的视场相互匹配。获取阴极荧光图从未如此简单:无需调 准光路,光镜的存在帮助完成了样品定位。系统经过优化,在 不牺牲扫描电镜性能的同时获得了优越的阴极荧光性能。它提 供了一个优秀的光学光圈 (f/0.5),和在整个视场范围内恒定 的高光子收集效率。同时,它工作在低电子束的能量范围内 (3-10kV),可获得更高分辨的阴极荧光图。