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| 参考报价： | 面议 | 型号： | 芬兰PICOSUN原子层沉积系统 |
| 品牌： | 伯英 | 产地： | 芬兰 |
| 关注度： | 22 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
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芬兰PICOSUN原子层沉积系统
ꄴ上一个： 耗散型石英晶体微天平分析仪-QCM-Dissipation-NT
芬兰PICOSUN公司是ALD技术发明人Tuomo Suntola创立的，与Picosun专家队伍被称为ALD的梦之队。
Suntola于1974年发明ALD技术，因此获得半导体行业European SEMI 2004奖。
PICOSUN公司凭借其杰出的生产型与科研型产品，于2022年6月加入美国应用材料公司。
PICOSUN产品分为科研型与生产型。
科研型产品有：
标准型PICOSUN™ R-200 Standard，只有热法原子层沉积系统
高级型PICOSUN™ R-200 Advanced，有热法原子层沉积系统与等离子体增强原子层沉积系统
高级型ALD可以添加前沿的微波等离子体辅助增强模块Microwave Plasma, 这种微波等离子体增强原子层沉积系统在颗粒、薄膜致密性表现更好，同时有可能沉积具有挑战性的一些氮化物薄膜，如氮化硅等。
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
